Společnost Shenyang Starlight Advanced Ceramics úspěšně dodala 8palcové třísloupkové lodě z karbidu křemíku pro zpracování polovodičových destiček

Společnost Shenyang Starlight Advanced Ceramics Co., Ltd., přední výrobce produktů z karbidu křemíku s více než 30 lety zkušeností v oboru, nedávno dosáhla významného milníku úspěšným vývojem a dodávkou specializovaných 8palcových třísloupkových lodí z karbidu křemíku pro aplikace tepelného zpracování polovodičových destiček.

Průlom v technologii zpracování destiček

Nově vyvinutý 8palcovýkarbid křemíkuTřísloupové lodě představují významný pokrok v technologii manipulace s destičkami a jsou speciálně navrženy pro:

• Vysokoteplotní zpracování 200mm polovodičových destiček

• Rovnoměrné rozložení tepla během kritických výrobních kroků

• Snížené riziko kontaminace v čistých prostorách

Technická převaha

Tyto precizně navržené lodě se vyznačují:

• Ultra vysoká čistotakarbid křemíkumateriál (čistota 99,99 %)

• Optimalizovaný třípólový design pro minimální kontakt s destičkou

• Výjimečná odolnost vůči tepelným šokům (odolává náhlým změnám teploty až do 1 400 °C)

• Vynikající chemická inertnost vůči korozivním procesním plynům

Splnění požadavků průmyslu

"Náš 8palcovýkarbid křemíku„Třísloupové lodě řeší rostoucí potřebu polovodičového průmyslu po spolehlivých a vysoce výkonných nosičích destiček,“ řekl Dr. Li, hlavní technologický ředitel. „Nabízejí oproti tradičním křemenným nosičům významné výhody, včetně delší životnosti a lepší tepelné stability.“

Přísný vývojový proces

Vývoj produktu zahrnoval:

• 18 měsíců intenzivního výzkumu a vývoje

• Spolupráce s předními výrobci polovodičů

• Více než 200 testů tepelných cyklů

• Přísná opatření pro kontrolu kontaminace částicemi

Zajištění kvality

Každá jednotka prochází:

• Ověření rozměrové přesnosti (tolerance ±0,02 mm)

• Zkouška drsnosti povrchu (Ra < 0,2 μm)

• Komplexní vizuální kontrola

• Závěrečné čištění a balení v čisté místnosti třídy 100

Aplikace

Lodě se v současné době používají k:

• Difuzní procesy

• Žíhání

• Oxidační procesy

• Aplikace CVD

Budoucí vývoj

Na základě tohoto úspěchu nyní společnost Shenyang Starlight vyvíjí:

• 12palcová verze pro velikosti waferů nové generace

• Zakázkové návrhy pro specifické procesní požadavky

• Pokročilé nátěry pro specializované aplikace

Závazek společnosti

„Jako společnost s třemi desetiletími zkušeností v oblasti keramiky jsme i nadále odhodláni posouvat hranice technologie polovodičových materiálů,“ dodal Dr. Li. „Toto uvedení produktu na trh dokazuje naši schopnost vyvíjet řešení, která splňují nejnáročnější požadavky v oboru.“