Shenyang Starlight Advanced Ceramics: 30letá tradice průkopnického přechodu karbidu křemíku na polovodičové hranice

Společnost Shenyang Starlight Advanced Ceramics Co., Ltd., průkopník ve výrobě karbidu křemíku s třicetiletými zkušenostmi, strategicky přechází od tradiční výroby nábytku pro pece k řešením polovodičové kvality. Využívá své hluboce zakořeněné technické znalosti a schopnosti globálního dodavatelského řetězce a je připravena nově definovat přesnost.karbid křemíkukomponenty pro výrobu čipů nové generace.

Od pece k třísce: Strategický vývoj

Společnost Shenyang Starlight, založená v roce 1995 jako společný čínsko-německý podnik, se zpočátku zaměřovala na komponenty pro průmyslové pece a získala si uznání jako národní high-tech podnik, který vyváží své produkty do více než 20 zemí. S polovodičemkarbid křemíkuVzhledem k tomu, že trh by měl do roku 2028 překročit 10 miliard dolarů, společnost v roce 2019 zahájila diverzifikaci založením divize pokročilých materiálů se zaměřením na vysoce čisté materiály.karbid křemíkukonstrukční díly pro polovodičová zařízení.

„Náš posun je v souladu s čínským úsilím o soběstačnost v oblasti polovodičů,“ řekl generální ředitel pan Xing.karbid křemíkuDíky své tepelné stabilitě a čistotě je nepostradatelný pro leptání, depozici a systémy manipulace s destičkami.“

Technologické průlomy pohánějící transformaci

1. Inovace v oblasti ultračistých materiálů

Společnost nyní vyrábí o čistotě 4N+ (99,99 %).karbid křemíkuprášků pomocí patentovaných rafinačních procesů, čímž se eliminují kovové nečistoty, které jsou kritické pro polovodičové procesy citlivé na kontaminaci.

Vícestupňové slinování (reakčně vázané, rekrystalizované a lisované za tepla) zajišťuje hustotu 3,1 g/cm³, což splňuje specifikace ASML a TEL pro kompatibilitu ve vakuu.

2. Možnosti přesné výroby

Pokročilé techniky tváření, včetně izostatického lisování a 3D tisku, umožňují výrobu složitých geometrií, jako jsou roboty pro manipulaci s destičkami a vložky CVD komor s tolerancí ±0,01 mm.

Patentované laserové obrábění snižuje poškození podpovrchu o 60 % ve srovnání s konvenčním broušením, což je klíčové pro drsnost povrchu <1 nm v litografických fázích.

3. Synergie mezi odvětvími

Společnost čerpající z desetiletí výzkumu a vývoje součástí pecí adaptovala konstrukce odolné vůči tepelným nárazům (původně pro spékání keramiky při 1 600 °C) na systémy rychlého tepelného zpracování (RTP) polovodičů, čímž dosáhla o 30 % delší životnosti než u křemenných alternativ.

Portfolio polovodičových produktů

Nosiče destiček: Rekrystalizovanékarbid křemíkuplechy pro vysokoteplotní difuzní pece, čímž se snižuje tvorba částic o 50 % oproti oxidu hlinitému.

Vakuové upínače: Nízké odplyňováníkarbid křemíkuElektrostatické upínače s vestavěnými chladicími kanály pro EUV litografické systémy.

Součásti odolné vůči plazmatu: Nitridovanékarbid křemíkuochranné štíty pro leptací nástroje, ověřené v testech korozivní plazmy trvajících více než 500 hodin.

Budování kolaborativního ekosystému

1. Akademická partnerství: Společný vývoj technologií s využitím kvantových tečekkarbid křemíkupovlaky ve spolupráci s Univerzitou Shenyang pro minimalizaci slepování destiček ve vysokovakuových prostředích.

2. Průmyslové aliance: V roce 2024 se připojila ke konsorciu Liaoning Semiconductor Materials Consortium a sdílíkarbid křemíkustandardy zpracování se SMIC a Naura.

3. Globální certifikace: Ve 2. čtvrtletí roku 2025 jsme dosáhli shody s certifikací SEMI S2, což nám umožnilo získat schválení Tier 1 pro slévárny.

Výzvy a plán do budoucna

Zatímco tradiční produkty pro pece stále přispívají 65 % tržeb, divize polovodičů si klade za cíl dosáhnout 40% ročního růstu prostřednictvím:

Rozšíření kapacity: Zdvojnásobení izostatických lisovacích linek do 3. čtvrtletí 2026 pro uspokojení poptávky po nástrojích pro výrobu 8palcových destiček.

Řízení kvality řízené umělou inteligencí: Implementace strojového vidění pro detekci vad v reálném čase během CNC obrábění.

Cirkulární ekonomika: Recyklace 95 % mlecí suspenze pomocí patentovaných filtračních systémů v souladu s cíli ESG.

„Naše 30letá cesta odráží vývoj čínské výroby,“ poznamenal technický ředitel Zhang Wei. „Od regálů pecí až po továrny na třísky, píšeme…“karbid křemíku„Další kapitola – jednu atomovou vrstvu po druhé.“