Společnost Shenyang Starlight Advanced Ceramics dosáhla milníku ve výrobě polovodičů s přesnými lineárními trubicemi o vnějším průměru 451 mm pro zpracování 12palcových destiček

Společnost Shenyang Starlight Advanced Ceramics Co., Ltd., průkopník ve výrobě karbidu křemíku s více než třemi desetiletími zkušeností, nedávno dosáhla významného průlomu úspěšným dodáním specializovaných lineárních trubic o vnějším průměru (OD) 451 mm pro procesy výroby 12palcových polovodičových destiček. Tento úspěch podtrhuje vedoucí postavení společnosti v oblasti vývoje kritických keramických součástek pro globální polovodičový průmysl. Nově vyvinuté lineární trubice, navržené speciálně pro aplikace zpracování destiček za vysokých teplot, se vyznačují optimalizovaným vnějším průměrem příruby 451 mm a jsou navrženy tak, aby splňovaly přísné požadavky pokročilých zařízení pro výrobu polovodičů. Tyto trubice využívají ultračistý karbid křemíku (≥99,999 %) s výjimečnou tepelnou stabilitou (provozní rozsah: od okolní teploty do 1 450 °C).vložkové trubky Komponenty zajišťují minimální tepelnou roztažnost (koeficient 4,0×10⁻⁶/K) a vynikající odolnost vůči korozivním procesním plynům, což umožňuje konzistentní výkon v procesech oxidace, difúze a chemického nanášení z plynné fáze (CVD). Přesné konstrukce lineárních trubic zaručuje rozměrové tolerance v rozmezí ±0,05 mm a drsnost povrchu pod Ra 0,1 μm, což je zásadní pro zachování integrity destičky a snížení rizika kontaminace částicemi v prostředí čistých prostor.

Ten/Ta/To vložkové trubkyVývojový proces zahrnoval 18 měsíců intenzivní spolupráce ve výzkumu a vývoji s předními výrobci polovodičů, včetně pokročilé analýzy konečných prvků (FEA) pro optimalizaci dynamiky proudění plynu a tepelné rovnoměrnosti v celém vnitřním průměru 300 mm. Více než 500 tepelných cyklických testů potvrdilo...vložkové trubky'odolnost při rychlých teplotních výkyvech, zatímco patentované techniky spékání zajišťujívložkové trubky strukturální integritu i při extrémních teplotách. Výroba probíhá v čistých prostorách třídy ISO 5, přičemž každá jednotka prochází komplexní vložkové trubkykontroly kvality, včetně testování těsnosti héliem, analýzy zbytkových plynů (RGA) a metrologické validace pomocí laserových skenerů a souřadnicových měřicích strojů (CMM). První zavedení pokročilé výroby logických a paměťových čipů hlásili 35% snížení prostojů pecí a 20% zlepšení výtěžnosti destiček ve srovnání s tradičními křemennými vložkami, což se připisuje inherentní chemické inertitě materiálu a sníženým požadavkům na údržbu.

Tento vložkové trubkyInovace řeší rostoucí poptávku polovodičového průmyslu po větších velikostech destiček a vyšší konzistenci procesů, zejména s tím, jak výrobci přecházejí na uzly s technologií sub-5nm. Konstrukce s vnějším průměrem 451 mm umožňuje bezproblémovou integraci s vertikálními pecemi nové generace, zatímco ultranízké hladiny kovových nečistot v materiálu (<0,1 ppb) zabraňují kontaminaci dopanty v citlivých procesech. Kromě současných aplikací společnost Shenyang Starlight aktivně vyvíjí inteligentní technologie.vložkové trubkyprototypy s vestavěnými senzory pro monitorování teploty v reálném čase a adaptivními systémy řízení teploty kompatibilními s výrobními ekosystémy Průmyslu 4.0.

S 30letou tradicí a více než 2 000 úspěšnými partnerstvími s klienty společnost Shenyang Starlight i nadále prosazuje inovace ve vysoce výkonné keramice a kombinuje excelenci materiálové vědy s přesným inženýrstvím s cílem řešit nejsložitější výzvy polovodičového průmyslu.